在很(hen)多超純氣應用(yong)，諸如(ru)半導體(ti)(ti)工業中，氣體(ti)(ti)中殘余(yu)的(de)濕氣對(dui)于過(guo)程處理的(de)正(zheng)常運作(zuo)至(zhi)關重要(yao)。一直以來(lai)，對(dui)濕氣的(de)持續追蹤(zong)測量(liang)都是個難點，需要(yao)用(yong)到復雜(za)的(de)濕度(du)分析(xi)儀或(huo)者昂(ang)貴的(de)分析(xi)技術。
高純氣體露點變送器這款小巧的(de)(de)變(bian)送器擁(yong)有堅(jian)固(gu)而獨立的(de)(de)傳感(gan)器，專門用來測量超(chao)高純氣體(ti)中(zhong)的(de)(de)微量水分含量。它使用和安裝簡單，可(ke)選兩線制(zhi)、三線制(zhi)和危險區域的(de)(de)型號，是一款*可(ke)自(zi)定義的(de)(de)產品，可(ke)以滿足各種(zhong)特殊需求。
高純氣體露點變送器亮點：
測量下限(xian)-120°C露點(1ppbV)
測量穩定(ding)，重復性(xing)好
高度集(ji)成的采(cai)樣裝(zhuang)置
模擬和數字(zi)輸出(chu)
安裝簡便
VCR過程(cheng)接口(kou)
設計緊湊小(xiao)巧(qiao)
顯(xian)示/報警(jing)單元可(ke)選
高純氣體微量露(lu)點變送器(qi)
在(zai)許(xu)多高純氣體的(de)應用中(zhong)，如半導體行業，氣體的(de)殘留水分對(dui)于(yu)工藝操作(zuo)的(de)影(ying)響是至關重要。
根(gen)據以往(wang)的經驗(yan)，微量水分(fen)測(ce)量一(yi)直是一(yi)個(ge)難題，這需要使用(yong)復雜或昂貴的分(fen)析儀(yi)測(ce)量。現在(zai)，密(mi)析爾推出了一(yi)款簡單(dan)、經濟的產品，可以在(zai)線測(ce)量露點達-120°C（小于(yu)1ppb）。
高(gao)(gao)純(chun)氣體露點變(bian)送器的優勢在于密析爾(er)阻抗傳(chuan)感器生產和校準的經驗和專長。工(gong)業標準材料和制(zhi)造工(gong)藝(yi)結合的低(di)成本變(bian)送器，適用于大規模(mo)集(ji)成半導體制(zhi)造廠(chang)或高(gao)(gao)純(chun)氣體管線中。
使用簡單：
這(zhe)種獨立的變(bian)送器設計成可無縫接入純氣的過程(cheng)應用中(zhong)，并可提供可靠的測量(liang)結果。
高(gao)純氣體露(lu)點變送器(qi)外殼(ke)是(shi)由冷拉不銹(xiu)鋼制成，內部采(cai)用0.25Raμm，以達到小的吸(xi)濕性(xing)，潔凈(jing)度達到清(qing)潔室標準。
該(gai)變送器交付(fu)完整的校準(zhun)和操作，并提供4-20mA的校準(zhun)輸出，能夠連接到密析爾(er)的顯示(shi)模(mo)塊或中央控制系統。
該產品的設計(ji)具(ju)有小(xiao)的內部結構。這(zhe)確保了過程應(ying)用中的響(xiang)應(ying)速度(du)，也(ye)保證了濕(shi)度(du)測(ce)量時(shi)的響(xiang)應(ying)速度(du)。傳感器(qi)密封墊圈可以在小(xiao)壓力(li)10-9torr內工作(zuo)，同時(shi)整個系統(tong)可承受(shou)的da壓力(li)為240Barg(3480psi)。
安裝和(he)操作簡(jian)便
高純氣體露點變送器安裝簡單(dan)。¼”外螺紋VCR氣體接(jie)口(kou)的(de)(de)間(jian)距為120mm，符合(he)標準。整個(ge)產(chan)品(pin)的(de)(de)高度僅為150mm，重(zhong)量小于500g。Pura是一(yi)個(ge)兩線(xian)(xian)或三線(xian)(xian)制(zhi)的(de)(de)變送器，提(ti)供da的(de)(de)操作靈活性(xing)和(he)12-28V直流(liu)電源的(de)(de)供電。
可選的顯(xian)示
; 假(jia)如應用中需要顯(xian)示(shi)露點(dian)(dian)值或濕度值，高純氣體露點(dian)(dian)變送器可(ke)以提供兩種顯(xian)示(shi)。顯(xian)示(shi)器可(ke)以很容易連(lian)接，也可(ke)以作為Pura的(de)電源。
服務與校準
密析(xi)爾為(wei)想(xiang)要少停機(ji)時間和設備可追溯(su)性的用戶提供以下兩種服務：
傳(chuan)感器替換(huan)–用戶(hu)可以(yi)(yi)簽訂一個有保障的合(he)同，可以(yi)(yi)更(geng)換(huan)傳(chuan)感器。當傳(chuan)感器出現(xian)問題時，可以(yi)(yi)把更(geng)換(huan)下(xia)來的傳(chuan)感器返回密析(xi)爾(er)檢測，從而實(shi)現(xian)零停機時間。
校準–用戶將傳感器(qi)返回密(mi)析爾(er)，密(mi)析爾(er)會對返回的(de)傳感器(qi)進行檢查(cha)和校準。這樣為過程中的(de)傳感器(qi)就(jiu)可(ke)以實現可(ke)追溯性。
陶瓷阻抗傳感器
高(gao)純(chun)氣體露點變送器采(cai)用阻抗技術(shu)，是基于(yu)水分子的導電性。密析爾(er)的陶瓷濕度傳感器采(cai)用具(ju)有的厚薄膜(mo)技術(shu)。
在半導(dao)體化的(de)陶瓷基底上，均勻的(de)敷涂了金屬導(dao)電(dian)層(ceng)。導(dao)電(dian)層(ceng)之(zhi)間的(de)感(gan)(gan)濕層(ceng)能感(gan)(gan)受到氣體樣品中的(de)水(shui)蒸氣分(fen)(fen)壓(ya)。水(shui)氣分(fen)(fen)壓(ya)決定了水(shui)分(fen)(fen)子(zi)進(jin)入感(gan)(gan)濕層(ceng)的(de)水(shui)分(fen)(fen)子(zi)的(de)數量，即對應(ying)于導(dao)電(dian)層(ceng)之(zhi)間的(de)阻抗值。露(lu)點(dian)值和水(shui)氣分(fen)(fen)壓(ya)有(you)一(yi)一(yi)對應(ying)關系(xi)。經過校驗，阻抗值和露(lu)點(dian)值的(de)對應(ying)關系(xi)建立(li)起來，被儲存在變送器(qi)的(de)芯片中。
傳(chuan)感(gan)器采(cai)用半導體極的陶瓷材料(liao)作(zuo)為(wei)基底(di)，給予傳(chuan)感(gan)器*的結構(gou)強度和(he)均勻特性。使密析爾濕度傳(chuan)感(gan)器具備其(qi)他(ta)氧化鋁(lv)傳(chuan)感(gan)器所*的穩定性。
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